GDQT高真空SF6气体回收和补充设备的规格

（1）最大气体存储压力：50bar。

（2）回收气压：初始压力≤0.8mpa（20°C），最终压力≤1mbar。

（3）气体存储量：340L。

（4）吸尘速度：≥60m3/h；终极真空：≤0.05pa。

（5）最大运行时间（单个）：> 96小时

（6）压缩机系统：采用无油压缩机，压缩机回收率为60m3/h（初始压力5bar状态），输出压力≥50bar。

（7）使用金属硬密封原理，关节连接系统的泄漏速率小于1*10-8 mbar l/sec。

（8）设备的真空度维护：当真空度达到133Pa时，关闭30分钟并维持5小时后，设备的真空度不应超过200pa（当真空度达到时，计算开始133pa。保持真空泵至少30分钟，停止泵并将其与泵分离株连接，在观看30分钟后阅读真空度A。然后等待超过5个小时，然后阅读真空度。真空度（B-A）≤200Pa的上升值。

（9）回电速度（20°C）：假设设备体积为1M3，初始气压小于100pa（<1MBAR），最终压力为0.5MPA（5BAR），并且填充时间不超过30分钟（即，回电速度≥60kg /h。

（10）气体纯净的质量控制：

①湿度控制：当气源的SF6气体湿度为1000μl/l时，一个恢复过程后的气体湿度应小于80μL/L；纯化和干燥后，最终回收的SF6气体的水分含量应小于40μL/L（ppm）。

②油含量控制：小于5μg/g。

③尘埃控制：粒径小于1μm。

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